| 摘要 |
본 발명은 기판 캐리어에 관한 것으로서, 적어도 일 측에 출입구를 갖는 기판수용공간을 형성하는 캐리어본체; 상기 출입구를 개폐하는 도어; 상기 캐리어본체의 출입구 영역과 상기 도어 중 어느 일 측에 둘레방향을 따라 도어흡착공간을 형성하며, 상기 도어흡착공간에 대한 공기흡입에 의해 상기 도어를 상기 출입구 영역에 기밀하게 흡착시키는 도어흡착부재; 상기 도어흡착공간으로부터 공기를 흡입하는 공기흡입기;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 도어 개폐 과정에서 파티클이 발생하지 않고, 간단한 구조로 완벽한 기밀 상태의 밀폐력을 구현하여 내부로 이물질과 수분 및 산소가 침투될 수 없는 기판 캐리어가 제공된다. 또한, 간단한 구조로 완벽한 기밀 상태의 밀폐력을 구현하여 내부의 일정량의 N2 환경 유지 및 일정한 내부 압력 상태 유지가 가능한 기판 캐리어가 제공된다. 이와 더불어, 구성부품을 최소화하면서 완벽한 밀폐력을 구현할 수 있도록 하여 제작비용을 현격하게 절감할 수 있는 기판 캐리어가 제공된다. |
