一种可调制多层复合薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种可调制多层复合薄膜的制备方法，首先将需要制备薄膜层的基片抛光，并经超声清洗后烘干预处理；将处理后的基片置于溅射室内，先进行打底层溅射，再进行复合层循环交替溅射；溅射完成后，待所述溅射室自然冷却至室温，得到所述可调制多层复合薄膜。上述制备方法工艺简单，沉积过程易于控制，薄膜沉积后无需进行热处理、二次加工，可直接作为机械零部件表面的润滑抗微动磨损防护薄膜使用。

主权项

一种可调制多层复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将需要制备薄膜层的基片抛光，并经超声清洗后烘干预处理；将处理后的基片置于溅射室内，先进行打底层溅射,再进行复合层循环交替溅射；其中，所述打底层溅射包括：将溅射室抽真空至3.0×10^‑3Pa以下，通入氩气并控制压强在0.3～0.8Pa，开直流溅射电源，溅射功率为50～150W，沉积时间为10～30min，在所述基片上直流溅射沉积纯钛靶，制备出厚度约为10～20nm的打底层；所述复合层循环交替溅射包括：在氩气环境下控制压强在0.5～1Pa范围内，分别设置3个溅射靶为CuNiIn靶、MoS₂靶和Ti靶；先开启所述CuNiIn靶，沉积20～60min后关闭所述CuNiIn靶，然后再同时开启所述MoS₂靶和Ti靶，沉积时间为15～50min；完成上述沉积过程为1个循环，总共沉积5～40个循环实现复合层循环交替溅射；溅射完成后，待所述溅射室自然冷却至室温，得到所述可调制多层复合薄膜。