微芯片结构和用于电化学检测的处理

摘要

本文公开的是用于制造生物感测装置的过程，所述过程包括下列步骤：提供基底，其具有在其表面上的导电引线；将绝缘层施加到所述表面和所述引线，所述绝缘层包括二氧化硅或氮化硅中的一个或多个；在所述绝缘层中蚀刻孔以暴露所述引线的一部分，纳米结构微电极被电镀到所述引线的一部分上；氧化二氧化硅或氮化硅中的一个或多个以形成氧化的二氧化硅或氮化硅；允许氧化的二氧化硅或氮化硅中的一个或多个与功能化硅烷起反应，用于在样本上的目标的电化学检测中的使用。

主权项

一种用于制造生物感测装置的过程，所述过程包括下列步骤：（i）提供基底，其具有在其表面上的导电引线；（ii）将绝缘层施加到所述基底和所述引线，所述绝缘层包括二氧化硅或氮化硅中的一个或多个；（iii）在所述绝缘层中蚀刻孔以暴露所述引线的一部分，纳米结构微电极被电镀到所述引线的一部分上；（iv）氧化二氧化硅或氮化硅中的一个或多个以形成氧化的二氧化硅或氮化硅；以及（v）允许氧化的二氧化硅或氮化硅中的一个或多个与功能化硅烷起反应。