高频探针卡

摘要

一种高频探针卡，包括一至少一基板，分别具有至少一第一通孔、一中介板，设置于该至少一基板上且具有与该至少一第一通孔相对应的至少一第二通孔、一电路板，设置于该中介板上且具有与该至少一第一与至少一第二通孔相对应的一第三通孔，以及至少一探针模块。每一探针模块更包括有至少一N型接地探针以及至少一高频信号探针，其贯穿该至少一基板以及该中介板，经由该第三通孔而与该电路板相电性连接，每一高频信号探针更包括有一N型信号探针；以及一第一导体，其与该N型信号探针相对应，该第一导体与该N型接地探针相电性连接，该N型信号探针与该第一导体之间设置一绝缘层。本发明是一种高频探针卡可以达到高质量传送高频电测讯号之效果。

主权项

一种高频探针卡，其特征在于，包括：一至少一基板，每一基板具有至少一第一通孔；一中介板，其设置于该至少一基板上，该中介板具有至少一第二通孔分别与该至少一第一通孔相对应；一电路板，其设置于该中介板上，该电路板具有一第三通孔，其与该至少一第一通孔相对应且与该至少一第二通孔相对应；以及至少一个探针模块，其分别设置于该至少一第一通孔外围的该至少一基板上，该至少一探针模块更包括有：至少一N型接地探针；至少一高频信号探针，每一高频信号探针更包括有：一N型信号探针，其贯穿对应的该至少一基板与该中介板，经由该第三通孔而与该电路板顶面上所具有的高频信号电性接点相电性连接；以及一第一导体，其与该N型信号探针相对应，该第一导体与该N型接地探针相电性连接，该N型信号探针与该第一导体之间设置一绝缘层。