METHOD FOR MANUFACTURING FUNCTIONAL FILM

摘要

장척의 기판을 길이 방향으로 반송하면서, 플라즈마 CVD 에 의해 성막을 실시하는 기능성 필름의 제조에 있어서, 성막을 정지한 후의 대기 해방시에, 제품이나 성막계 내의 오염을 방지하고, 생산성의 향상이나 제품 품질의 향상을 도모할 수 있는 방법을 제공한다. 성막 전극의 표면이 성막계 내에서 대기와 접촉하는 것을 방해한 상태로 한 후에, 대기 해방을 위한 기체를 성막계 내에 도입함으로써, 상기 과제를 해결한다.