一种含硝基双肟酯类光引发剂及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种含硝基双肟酯类光引发剂，结构如通式（I）所示。该光引发剂在储存稳定性、感光度、显影性和图案完整性等方面应用性能优异，与单波长的UV-LED光源有很好的适配性，在UV-LED照射下表现出了明显优于现有光引发剂的感光性能。（I）。

主权项

一种含硝基双肟酯类光引发剂，其具有如通式(I)所示的结构：其中，X、Y相互独立地代表羰基(‑CO‑)或单键；Z为空或单键；A为O、S或R₅N‑基团，其中R₅表示氢、C₁‑C₂₀直链或支链烷基、C₃‑C₂₀的环烷基、C₄‑C₂₀的环烷基烷基或C₄‑C₂₀的烷基环烷基；R₁代表氢、卤素、硝基、羟基、羧基、磺酸基、氨基、氰基、烷氧基，或者是C₁‑C₁₅的直链或支链烷基、C₃‑C₂₀的环烷基、C₄‑C₂₀的环烷基烷基、C₄‑C₂₀的烷基环烷基；R₂、R₃相互独立地表示氢、C₁‑C₂₀的直链或支链烷基、C₃‑C₂₀的环烷基、C₄‑C₂₀的环烷基烷基、C₄‑C₂₀的烷基环烷基、C₇‑C₂₀的芳烷基，任选地，上述基团中的氢可以被选自卤素、硝基、羟基、羧基、磺酸基、氨基、氰基和烷氧基的基团取代；R₄代表C₁‑C₂₀的直链或支链烷基、C₃‑C₂₀的环烷基、C₄‑C₂₀的环烷基烷基、C₄‑C₂₀的烷基环烷基、C₃‑C₂₀杂芳基、C₆‑C₂₀芳基，任选地，上述基团中的氢可以被选自卤素、苯基、硝基、羟基、羧基、磺酸基、氨基、氰基和烷氧基的基团取代。