一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构

摘要

本发明提出了一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构，其包括进水器、旋转水接头、中空旋转轴和长进水管；进水器为中空结构，其下端与侧面装有出水嘴的旋转水接头的进水端连接旋转水接头的旋转端与中空旋转轴的上端连接，并采用密封垫密封；长进水管穿过中空旋转轴和旋转水接头伸入进水器内，其上末端与进水器之间装有聚氨酯油封圈进行旋转密封；长进水管的下端与中空旋转轴的下端内孔焊接密封；中空旋转轴的侧面开有回水口。本发明的冷却水进出结构简单紧凑，拆卸方便，并且旋转密封结构位于真空室外，解决了冷却水如何安全可靠的进出真空室成为溅射靶冷却的难题，特别适合于多工位靶各面靶材单独直接水冷。

主权项

一种用于真空室内多工位溅射靶的冷却水进出结构，其特征在于：包括进水器（14）、旋转水接头（3）、中空旋转轴（1）和长进水管（2）；进水器（14）为中空结构，其下端与侧面装有出水嘴（4）的旋转水接头（3）的进水端连接；旋转水接头（3）的旋转端与中空旋转轴（1）的上端连接，使中空旋转轴（1）可相对旋转水接头（3）以轴线为转轴转动，连接处采用密封垫（10）密封；长进水管（2）穿过中空旋转轴（1）和旋转水接头（3）伸入进水器（14）内，其上末端与进水器（14）之间装有聚氨酯油封圈（9）进行旋转密封；长进水管（2）的下端外壁与中空旋转轴（1）内腔下端口固定连接形成密封；中空旋转轴（1）的侧面开有回水口（12）；所述进水器（14）及长进水管（2）连通组成进水通道；所述长进水管（2）外壁与中空旋转轴（1）及旋转水接头（3）的内腔壁之间的空隙构成回水通道。