一种消影导电玻璃

摘要

本实用新型公开一种消影导电玻璃，包括玻璃基板，玻璃基板上依次设有SiO₂膜层、ITO膜层与高折射率膜层，所述高折射率膜层为Nb₂O₅膜层或TiO₂膜层；采用Nb₂O₅膜层或TiO₂膜层作为高折射率膜层，在满足ITO方阻值的同时消除蚀刻阴影，保证显示效果；由于采用氧化物膜层，在沉积时只需要通入氧气这一种反应气体，更换靶材就可以实现不同膜层的沉积，在一个腔室里就能够完成，无需增加额外溅射腔室，减少生产设备的投入降低成本；另外，对不同膜层可以连续沉积，不需要经过抽放气环节，降低工艺难度，提高了生产效率。

主权项

一种消影导电玻璃，包括玻璃基板，玻璃基板上依次设有SiO₂膜层、ITO膜层与高折射率膜层，其特征在于，所述高折射率膜层为Nb₂O₅膜层或TiO₂膜层。