一种温控型传送装置

摘要

本实用新型涉及机械臂支撑架领域，尤其涉及一种温控型传送装置，通过将承接玻璃的支撑架设计成中空型机构，在其内部通入温控气体，使支撑架具备温度调整功能。气体温控装置依随各制程单元不同的制程温度而进行相对应的温度参数调整，使温控气体通入支撑架本体内，进而使支撑架本体(含支撑垫)与经过各制程的玻璃温度趋近一致，即可避免支撑架的支撑垫支承玻璃时因温度差异而产生Mura。

主权项

一种温控型传送装置，其特征在于，包括：机械手臂；支撑架本体，固定设置于所述机械手臂的一端，且所述支撑架本体上方均匀设置有若干用于承接玻璃的支撑垫；温控装置，设置于所述机械手臂未连接支撑架本体的另一端，用于调整所述支撑垫的温度。