| 发明名称 | 一种具有浮渣检测功能的CD测试结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种具有浮渣检测功能的CD测试结构，包括T型结构和形成在所述T型结构周围的至少一个L型结构。通过本实用新型的CD测试结构，可以在CD尺寸测量时发现浮渣的存在，而不必等到后续进行缺陷扫描时才发现浮渣残留，该结构不影响CD测量结果，并且CD测试结构互相嵌套，节省面积。另外，本实用新型提供的CD测试结构，简单易操作，适用于工业化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN205248237U | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201521084198.2 | 申请日期 | 2015.12.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 李玉科 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 唐棉棉 |
| 主权项 | 一种具有浮渣检测功能的CD测试结构，其特征在于，所述CD测试结构至少包括：T型结构和设置在所述T型结构周围的至少一个L型结构。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||