近场偏振光扫描探针显微镜

摘要

本发明涉及一种近场偏振光扫描探针显微镜，具有一条近场光学探测光路，所述近场光学探测光路中由He-Ne激光器发出的一束线偏振光依次经过四分之一波片A、分光棱镜、物镜A、探针至载物台形成近场光学产生光路；从探针反射的反射光依次经过物镜A、分光棱角、四分之一波片B、格兰泰棱镜、物镜，由光电接收器接收至图像显示系统。本发明能有效抑制远场背景光，提高近场光的信噪比，且能达到小于10纳米的空间分辨率。

主权项

一种近场偏振光扫描探针显微镜，具有一条近场光学探测光路，其特征在于：所述近场光学探测光路中由He‑Ne激光器发出的一束线偏振光依次经过四分之一波片A（2）、分光棱镜（3）、物镜A（4）、探针（5）至载物台形成近场光学光路；从探针（5）反射的反射光依次经过物镜A（4）、分光棱角（3）、四分之一波片B（7）、格兰泰棱镜（8）、物镜（9），由光电接收器（10）接收至图像显示系统。