一种线性菲涅尔反射镜面形快速检测装置及测量分析方法

摘要

本发明公开了一种线性菲涅尔反射镜面形快速检测装置及测量分析方法，基于激光跟踪仪进行测量；检测装置包括能实现沿反射镜纵向和横向二维移动的滑轨，在滑轨上安装靶球夹持装置，靶球安装于靶球夹持装置内，可以在一定高度内相对靶球夹持装置上下移动，并在重力或者弹簧作用下保证与待测量的反射镜表面相接触，测量时沿调平的反射镜表面进行横向及纵向扫描，对测得的位置信息分析计算出镜面的平直度、横向截面的偏转及面形误差，可以实现快速检测及分析，并且移动运输方便。

主权项

一种线性菲涅尔反射镜面形快速检测装置，其特征在于，包括靶球移动装置和靶球跟踪仪；所述的靶球移动装置包括在线性菲涅尔反射镜面上方的二维滑轨(13)，在二维滑轨(13)上安装靶球夹持装置(10)，靶球(1)安装于靶球夹持装置(10)内，靶球(1)相对于靶球夹持装置(10)可进行上下和左右的偏转，靶球(1)保持与待测量的线性菲涅尔反射镜面相接触；所述的靶球跟踪仪非接触的跟踪靶球，记录靶球沿线性菲涅尔反射镜面移动时的轨迹及数据。