内部生成的用于静电MEMS的DFT阶梯式迟滞扫描

摘要

本发明总体涉及用于测试MEMS迟滞的机构。电源管理电路可以耦合到使布置在电极之间的可移动板在MEMS器件中移动的电极。电源管理电路可以利用电荷泵、比较器以及梯形电阻。

主权项

一种MEMS DVC，包括：至少一个MEMS器件，所述MEMS器件包括可移动板、RF电极、一个或更多个下拉电极、以及一个或更多个上拉电极；第一开关，其耦合到所述一个或更多个下拉电极或者所述一个或更多个上拉电极，其中，所述第一开关另外地耦合到地；第二开关，其耦合到所述一个或更多个下拉电极或者所述一个或更多个上拉电极；和耦合到所述第二开关的电源管理系统，其中，所述至少一个MEMS器件、所述第一开关、所述第二开关和所述电源管理系统都布置在单个封装中。