一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、无线收发器

摘要

本实用新型公开了一种薄膜体声波谐振器，包括衬底基板和制备在衬底基板上的功能层，所述功能层包括：沿垂直于衬底基板表面的方向顺次设置的至少三层电极、设置在每两块电极之间且由铁电材料制成的压电薄膜层。本实用新型利用三明治结构以及铁电材料的特性，实现了薄膜体声波谐振器的频率可调及切换，还不需要外置开关，节省了产品成本，简化了产品结构。此外本实用新型还公开了一种滤波器、振荡器、无线收发器，这些器件均使用了本实用新型的薄膜体声波谐振器。

主权项

一种薄膜体声波谐振器，包括衬底基板和制备在衬底基板上的功能层，其特征在于，所述功能层包括：沿垂直于衬底基板表面的方向顺次设置的至少三层电极、设置在每两块电极之间且由铁电材料制成的压电薄膜层。