发明名称 |
一种新型多晶硅片清洗机 |
摘要 |
本实用新型公开了一种新型多晶硅片清洗机,包括清洗仓、沥水仓和干燥仓,清洗仓内中间横向设置轨道一,所述轨道一两侧设置喷雾喷头,喷雾喷头之间设置超声波发射器,沥水仓内设置轨道二,沥水仓内左侧上方设置干燥空气入口,干燥仓与沥水仓尺寸相同,干燥仓左侧下方设置干燥空气入口二,干燥仓与沥水仓中间设置挡板,所述挡板在轨道二通过处开有通道,本实用新型所述的新型多晶硅片清洗机,通过轨道一和轨道二的运作,将码放整齐的多晶硅片在清洗仓内清洗完成运送至沥水仓,沥水仓内设置干燥空气入口一,在自然沥水过程中加速水分蒸发,在干燥仓内设置干燥空气入口二,降低空气含水量,提高干燥速度,整个过程自动化完成,节约人力,减少人为的损坏。 |
申请公布号 |
CN205248239U |
申请公布日期 |
2016.05.18 |
申请号 |
CN201520925971.7 |
申请日期 |
2015.11.19 |
申请人 |
江苏润丽光能科技发展有限公司 |
发明人 |
郭长明;王潇;赵海洋;张立;许春杰;谢保卫 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
南京众联专利代理有限公司 32206 |
代理人 |
周蔚然 |
主权项 |
一种新型多晶硅片清洗机,其特征在于:包括清洗仓、沥水仓和干燥仓,所述清洗仓内中间横向设置轨道一,所述轨道一两侧设置喷雾喷头,喷雾喷头之间设置超声波发射器,所述沥水仓位于清洗仓右侧,沥水仓内设置轨道二,沥水仓内左侧上方设置干燥空气入口,所述轨道二与轨道一宽度相同,轨道二与轨道一交界处设置PVC软帘,轨道二延伸至干燥仓出口,轨道二在沥水仓及干燥仓内为上下弯折设置,所述干燥仓位于沥水仓右侧,干燥仓与沥水仓尺寸相同,干燥仓左侧下方设置干燥空气入口二,干燥仓与沥水仓中间设置挡板,所述挡板在轨道二通过处开有通道。 |
地址 |
221600 江苏省徐州市沛县经济开发区沛屯大道西侧 |