硅片原料酸洗加酸循环系统

摘要

本实用新型涉及一种硅片原料酸洗加酸循环系统，包括布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵，其特征在于：所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP-R热熔管，所述PP-R热熔管的外周均匀布满圆通孔，所述酸泵的入口之前的循环管道上增设有一段过滤管道，所述过滤管道状似三通管，其由与酸液流动方向平行的水平连接段和连接于水平连接段下方的后倾段组成，所述后倾段向酸泵的方向倾斜且末端设有封堵盖，所述水平连接段靠近酸泵侧端部内置有过滤网。其结构设计合理，使用可靠，过滤效果好，延长了酸泵的使用寿命。

主权项

一种硅片原料酸洗加酸循环系统，包括布置于酸洗箱内的酸液入口和酸液出口、设于酸洗箱外侧的连接于酸液入口和酸液出口之间的循环管道、设于循环管道上的酸泵，其特征在于：所述酸液出口处连接有一段前端封堵的PP‑R热熔管，所述PP‑R热熔管的外周均匀布满圆通孔，所述酸泵的入口之前的循环管道上增设有一段过滤管道，所述过滤管道状似三通管，其由与酸液流动方向平行的水平连接段和连接于水平连接段下方的后倾段组成，所述后倾段向酸泵的方向倾斜且末端设有封堵盖，所述水平连接段靠近酸泵侧端部内置有过滤网。