| 发明名称 | 压力传感器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种压力传感器，该压力传感器包括膜片式电极(1)、固定的电极(2)和介电层(3)，其中所述固定的电极(2)的表面被所述介电层(3)所覆盖，其中所述膜片式电极(1)和介电层(3)彼此对置地布置并且至少部分地通过构成空穴(4)的中间层(5)隔开。为了改进测量信号的线性度，所述固定的电极(2)在与所述空穴(4)对置的区段中具有第一空隙(6)。 | ||
| 申请公布号 | CN101846562B | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201010149591.0 | 申请日期 | 2010.03.26 |
| 申请人 | 罗伯特.博世有限公司 | 发明人 | C·多林 |
| 分类号 | G01L1/14(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 曹若;梁冰 |
| 主权项 | 压力传感器，包括‑膜片式电极(1)，‑一个唯一的固定的电极(2)和‑介电层(3)，其中所述固定的电极(2)的表面被所述介电层(3)所覆盖，而所述膜片式电极(1)的表面没有被介电层所覆盖，其中所述膜片式电极(1)和介电层(3)彼此对置地布置并且至少部分地通过构成空穴(4)的中间层(5)隔开，其特征在于，所述固定的电极(2)在与所述空穴(4)对置的区段中具有第一空隙(6)，其中，所述第一空隙(6)构造为一般意义上的柱体的形式，其中，构造为一般意义上的柱体的形式的空隙(6)的覆盖面(9)相应于面积(d<sub>max</sub>)，所述膜片式电极(1)和介电层(3)在向压力传感器施加压力(p<sub>max</sub>)时在该面积(d<sub>max</sub>)上相互接触，在此所述压力传感器最大为该压力(p<sub>max</sub>)而设计。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||