光学滤光片高精度透过率的测试系统及测试方法

摘要

本发明公开了一种光学滤光片高精度透过率的测试系统及测试方法，系统包括激光泵浦宽带光源、光调制器、双级联单色仪系统、光准直系统、测试暗箱、紫外可见光电倍增管、高压电源模块、光电信号处理模块、锁相放大器和工控计算机；测试时，光源产生的光经光调制器的调制，入射到双级联单色仪系统中产生高质量的单色光；经准直系统将光栅单色仪输出的光转变为准平行、小束径的单色光入射至被测滤光片；经滤光片衰减后的光入射至光电倍增管产生放大后的光电流信号；再在信号处理模块中对光电倍增管输出的光电流信号处理后送入锁相放大器进行相敏检测。本发明使用光调制器和锁相放大器的工作模式，可以高精度地测出光学滤光片透过率。

主权项

一种光学滤光片高精度透过率的测试系统，其特征在于，包括激光泵浦宽带光源、光调制器、双级联单色仪系统、光准直系统、测试暗箱、紫外可见光电倍增管、高压电源模块、光电信号处理模块、锁相放大器和工控计算机，所述紫外可见光电倍增管和被测滤光片均设置在测试暗箱内，且被测滤光片位于光准直系统和紫外可见光电倍增管之间，所述双级联单色仪系统入光口和出光口的两个滤光片轮分别装有滤光片；激光泵浦宽带光源产生白光经光调制器调制成具有设定频率的光信号，经双级联单色仪系统的光栅产生纯净的单色光，单色光入射至光准直系统转变为准平行、小束径的单色光，再入射至被测滤光片；经被测滤光片衰减后的单色光入射至紫外可见光电倍增管，在高压电源模块的作用下经光电转换成放大的光电流信号；再在信号处理模块中对光电倍增管输出的光电流信号进行滤波放大地处理后送入锁相放大器进行相敏检测得到稳定的电压信号；工控计算机根据锁相放大器得到的电压信号值确定透过的光功率值，与未经滤光片衰减的光功率之比即为被测滤光片的透过率。