| 发明名称 | 基板处理装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基板处理装置和方法。所述方法包括：将清洁颗粒供给到基板以清洁基板。所述清洁颗粒是固体颗粒。所述固体颗粒对基板提供了一冲击波。 | ||
| 申请公布号 | CN105590882A | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201510750418.9 | 申请日期 | 2015.11.06 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 崔基勋;郑仁一;金性洙;朱润钟 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鼎宏元正知识产权代理事务所(普通合伙) 11458 | 代理人 | 李波 |
| 主权项 | 一种基板处理方法，所述方法包括：将清洁颗粒供给到基板以清洁基板，其中所述清洁颗粒是固体颗粒，以及所述固体颗粒为基板提供了一冲击波。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||