具有切换操作模式的压电超声换能器阵列

摘要

描述可切换微机加工换能器阵列，其中一个或多个开关或继电器与压电微机加工换能器阵列(pMUT)中的换能器元件整体地集成。在实施例中，MEMS开关与换能器阵列被实施在相同的基板上以便切换换能器阵列的操作模式。在实施例中，多个换能器在第一时间段期间在第一操作模式(例如，驱动模式)中通过一个或多个MEMS开关并联地互连，并且然后在第二时间段期间在第二操作模式(例如，感测模式)中通过一个或多个MEMS开关与该换能器的至少一些换能器串联地互连。

主权项

一种微机加工换能器阵列，所述微机加工换能器阵列包括：换能器基板；多个换能器，布置在所述换能器基板上；以及一个或多个开关，布置在所述换能器基板上，其中所述一个或多个开关能够在第一状态和第二状态之间进行电切换，所述第一状态以电并联方式互连所述多个换能器的至少两个换能器，并且所述第二状态以电串联方式互连所述至少两个换能器。