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发明名称 リークテスト用チャンバおよびリークテスト装置
摘要
申请公布号 JP5918526(B2) 申请公布日期 2016.05.18
申请号 JP20110283325 申请日期 2011.12.26
申请人 株式会社フクダ;株式会社キャステク 发明人 宮川 正弘;高 炎;増田貞叔;樫村勝義;齋藤正雄
分类号 G01M3/20 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
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