微构件拉伸测试装置

摘要

微构件拉伸测试装置，涉及一种微构件力学性能测试装置。本发明可实现对微米尺度构件的力学性能静态参量测量及疲劳特性的探究。两根导轨固定在L形底座上；精密驱动单元固定在右载物平台上，动载物台与精密驱动单元固接，静、动载物台上有一用于固定微构件的定位槽，静载物台与微力传感器固接，微力传感器与力传感器固定块固接，力传感器固定块与左载物平台固接，光栅尺安装在精密驱动单元前侧或后侧面上，右载物平台上固定有读数头安装架，度数头固定在读数头安装架上；右载物平台与丝杠螺母副的丝杠螺母固接，右载物平台通过四个右滑块与两根导轨滑动连接，步进电机驱动丝杠螺母副运动，左载物平台相对导轨固定不动。本发明用于微构件力学性能测试。

主权项

一种微构件拉伸测试装置，其特征是：它包括精密驱动单元（9）、微力传感器（5）、直线光栅测量装置、高精度电移台、载物台、力传感器固定块（4）、两个固定件（17），所述的高精度电移台包括左载物平台（19）、右载物平台（11）、丝杠螺母副（10）、L形底座（1）、支撑座（3）、步进电机（2）、四个左滑块（18）、四个右滑块（12）、两根导轨（14），所述的载物台包括动载物台（8）和静载物台（6），所述的直线光栅测量装置包括光栅尺读数头安装架（13）、读数头（15）和光栅尺（16），所述的L形底座（1）的长板水平设置，所述的两根导轨（14）平行于L形底座（1）的长边并固定在L形底座（1）的长板上；所述的左载物平台（19）和右载物平台（11）左右并列设置，所述的精密驱动单元（9）固定在右载物平台（11）上表面，所述的动载物台（8）与精密驱动单元（9）的左侧面固定连接，所述的静载物台（6）与动载物台（8）相邻且相对应设置，静载物台（6）与动载物台（8）的上表面对应位置分别加工有一用于固定微构件（7）的定位槽；所述的静载物台（6）、微力传感器（5）及力传感器固定块（4）由右至左依次设置在左载物平台（19）的上表面，且静载物台（6）与微力传感器（5）固定连接，微力传感器（5）与力传感器固定块（4）固定连接，力传感器固定块（4）与左载物平台（19）的上表面固定连接，所述的光栅尺（16）安装在精密驱动单元（9）的前侧面或后侧面上，右载物平台（11）上与光栅尺（16）位于同侧的侧面上固定有读数头安装架（13），度数头（15）与光栅尺（16）相对设置并固定在读数头安装架（13）上；所述的右载物平台（11）的下表面与丝杠螺母副（10）的螺母固定连接，丝杠螺母副（10）的丝杠一端与支撑座（3）转动连接，丝杠螺母副（10）的丝杠另一端与L形底座（1）的短板转动连接，支撑座（3）与L形底座（1）的长板固定连接，右载物平台（11）的下表面与呈矩形设置的四个右滑块（12）固定连接，四个右滑块（12）与两根导轨（14）滑动连接，所述的步进电机（2）固定于L形底座（1）的短板上，步进电机（2）驱动丝杠螺母副（10）运动；左载物平台（19）的下表面与呈矩形设置的四个左滑块（18）固定连接，四个左滑块（18）设置在两根导轨（14）上，设置在同一根导轨（14）上的两个左滑块（18）之间安装有一与导轨（14）固定连接的固定件（17），工作中左载物平台（19）相对导轨（14）固定不动，右载物平台（11）相对导轨（14）进行运动，所述的精密驱动单元（9）包括柔性铰链机构（9‑1）、预紧螺钉（9‑5）、压电陶瓷（9‑6）、两个垫片（9‑2）、两个钢珠（9‑3）、三个安装孔（9‑4），所述的柔性铰链机构（9‑1）中部设有凹槽，所述的压电陶瓷（9‑6）设置于柔性铰链机构（9‑1）的凹槽内，压电陶瓷（9‑6）两端分别通过钢珠（9‑3）、垫片（9‑2）与柔性铰链机构（9‑1）的凹槽内壁相接触，柔性铰链机构（9‑1）上设有三个用于与右载物平台（11）固定连接的安装孔（9‑4），柔性铰链机构（9‑1）的右端面加工有螺纹孔，所述的预紧螺钉（9‑5）与柔性铰链机构（9‑1）的螺纹孔螺纹连接，预紧螺钉（9‑5）通过垫片（9‑2）及钢珠（9‑3）预压紧压电陶瓷（9‑6）。