发明名称 |
背面钝化太阳能电池的制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种背面钝化太阳能电池的制备方法,其避免使用背面PN结刻蚀设备、节约成本。一种背面钝化太阳能电池的制备方法,依次包括如下步骤:S1、对硅片的表面进行抛光;S2、在所述硅片的背面镀钝化膜;S3、在所述钝化膜上镀氮化硅层;S4、对所述硅片的正面制绒形成绒面;S5、对所述硅片的正面进行扩散;S6、去除所述硅片正面的磷硅玻璃;S7、在所述硅片正面形成减反膜;S8、在所述硅片背面形成背电极,在所述硅片正面形成正电极;S9、烧结。 |
申请公布号 |
CN105590993A |
申请公布日期 |
2016.05.18 |
申请号 |
CN201610110915.7 |
申请日期 |
2016.02.29 |
申请人 |
中利腾晖光伏科技有限公司 |
发明人 |
魏青竹;王志刚;倪志春;陆俊宇;汪燕玲;易辉;苗凤秀;连维飞 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/049(2014.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
孙仿卫 |
主权项 |
一种背面钝化太阳能电池的制备方法,其特征在于,依次包括如下步骤:S1、对硅片的表面进行抛光;S2、在所述硅片的背面镀钝化膜;S3、在所述钝化膜上镀氮化硅层;S4、对所述硅片的正面制绒形成绒面;S5、对所述硅片的正面进行扩散;S6、去除所述硅片正面的磷硅玻璃;S7、在所述硅片正面形成减反膜;S8、在所述硅片背面形成背电极,在所述硅片正面形成正电极;S9、烧结。 |
地址 |
215542 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园腾晖路1号 |