半导体扩散设备的石英舟旋转装置

摘要

本实用新型涉及半导体加工装置领域，提供了一种半导体扩散设备的石英舟旋转装置，该装置用于带动旋转盘及旋转盘上的石英舟旋转，包括旋转轴、轴套以及驱动机构；轴套与固定机构连接；旋转轴由驱动机构带动旋转，中部插设在轴套中，顶部与旋转盘连接；轴套内设有极靴，旋转轴与轴套之间通过磁流体密封。当把磁流体注入到由高性能的永久磁铁，导磁良好的极靴与旋转轴所构成的磁回路间隙中，在磁场的作用下，磁流体在间隙中形成数个液态的“O”型圈，从而起到密封作用，相对于现有技术中采用如气密封结构等方式，本装置运行灵活精确，平稳可靠，保证工艺效果好的前提下，使其具备高刚性、高可靠性、结构紧凑和占据空间小等特点。

主权项

一种半导体扩散设备的石英舟旋转装置，用于带动旋转盘(2)及旋转盘(2)上的石英舟旋转，其特征在于，包括旋转轴(1)、轴套(7)以及驱动机构；所述轴套(7)与固定机构(5)连接；所述旋转轴(1)由所述驱动机构带动旋转，中部插设在所述轴套(7)中，顶部与所述旋转盘(2)连接；所述轴套(7)内设有极靴，所述旋转轴(1)与所述轴套(7)之间通过磁流体密封。