发明名称 |
Fe-Pt型强磁性材料溅射靶 |
摘要 |
一种Fe-Pt型强磁性材料溅射靶,包含Pt为5摩尔%以上且60摩尔%以下、其余为Fe的组成的金属和金属氧化物。本发明提供磁记录层由Fe-Pt合金等磁性相和将其分离的非磁性相构成,作为非磁性相的材料之一使用金属氧化物的强磁性材料溅射靶。本发明的课题在于提供可以抑制溅射时以金属氧化物的不经意脱离或在靶中包含的空隙为起点的异常放电造成的粉粒产生,可以提高金属氧化物与母材合金的密合性,并且可以使溅射靶高密度化的强磁性材料溅射靶。 |
申请公布号 |
CN103081009B |
申请公布日期 |
2016.05.18 |
申请号 |
CN201180041604.5 |
申请日期 |
2011.08.05 |
申请人 |
吉坤日矿日石金属株式会社 |
发明人 |
荻野真一;中村祐一郎 |
分类号 |
G11B5/851(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;G11B5/65(2006.01)I;H01F10/14(2006.01)I;H01F41/18(2006.01)I |
主分类号 |
G11B5/851(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种Fe‑Pt型强磁性材料溅射靶,包含金属和金属氧化物,所述金属的组成为:Pt为5摩尔%以上且60摩尔%以下,含有0.5摩尔%以上且20摩尔%以下选自B、C、Ru、Ag、Au、Cu的一种以上元素作为添加元素,其余为Fe。 |
地址 |
日本东京 |