带电粒子显微镜中的非接触式温度测量

摘要

本发明涉及一种使用带电粒子显微镜的方法，带电粒子显微镜被装配用于利用带电粒子（200）的初级束流检查安装在样品支持器（101）上的样品（100），带电粒子显微镜配备有用于检测响应于利用初级束流辐照样品而从样品发出的次级粒子的固态检测器（202），固态检测器在样品的直接光学视图中，方法包括在具有快速热学响应时间的加热器上提供样品，其特征在于方法包括使用固态检测器对样品和/或样品支持器的温度的非接触式测量。加热器（例如MEMS加热器）的加热可以是由激光器导致的非接触式加热、微波加热、感应或电子束流加热，或者可以由金属化加热轨迹导致。

主权项

一种使用带电粒子显微镜的方法，带电粒子显微镜被装配用于利用带电粒子（200）的初级束流检查安装在样品支持器（101）上的样品（100），带电粒子显微镜配备有用于检测响应于利用初级束流辐照样品而从样品发出的次级粒子的固态检测器（202），固态检测器在样品的直接光学视图中，方法包括在具有快速热学响应时间的加热器上提供样品，其特征在于方法包括当未通过初级束流辐照样品时使用固态检测器对样品和/或样品支持器的温度的非接触式测量。