电子元件输送装置

摘要

本发明公开了一种电子元件输送装置，其特征在于，电子元件输送装置，包括机架、用于夹持容器的夹持组件、升降组件以及移动组件，所述升降组件和移动组件安装在所述机架上，所述夹持组件运动地设置，所述升降组件驱动所述夹持组件上下运动，所述移动组件驱动所述夹持组件水平运动。本发明电子元件输送装置，既可以横向自由移动盛放晶圆的容器，又可以竖向自由移动容器，取代了传统的人工搬运晶圆，节省人力，提高晶圆的搬运效率；本发明电子元件输送装置可实现自动抓持或松开容器，抓持牢固，可以防止容易在运输过程中摔落而损坏晶圆。

主权项

电子元件输送装置，其特征在于，包括机架、用于夹持容器的夹持组件、升降组件以及移动组件，所述升降组件和移动组件安装在所述机架上，所述夹持组件可运动地设置，所述升降组件驱动所述夹持组件上下运动，所述移动组件驱动所述夹持组件水平运动，所述夹持组件包括安装架和第三驱动件以及两个抓持件，所述安装架安装在所述升降组件上，所述第三驱动件设于所述安装架上，至少一个所述抓持件可往复运动地设置；所述第三驱动件驱动所述抓持件往复运动，所述抓持件为两块相对设置的L形板；至少一个所述L形板可运动地设置；所述第三驱动件驱动至少一个L形板运动，所述第三驱动件还包括第二弹簧，所述第三驱动件为单作用气缸，所述单作用气缸安装在所述安装架上且与所述抓持件连接，所述第二弹簧一端安装在所述安装架上、另一端连接在所述抓持件上；所述单作用气缸驱动所述抓持件运动而使所述第二弹簧产生弹性变形，产生弹性变形的第二弹簧使所述抓持件复位；或者，所述第三驱动件为双作用气缸，所述双作用气缸的两个活塞杆分别连接一个所述抓持件；两个抓持件分别位于双作用气缸两侧；或者，所述第三驱动件为第三直线电机，所述第三直线电机驱动所述抓持件运动。