| 发明名称 | 光伏器件、其形成方法以及等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光伏器件、其形成方法以及等离子体增强化学气相沉积系统。一种形成光伏器件的方法包括提供衬底。在所述衬底上沉积光伏叠层的一个或多个层。沉积非晶层包括执行高功率快闪沉积以沉积所述层的第一部分。执行低功率沉积以沉积所述层的第二部分。 | ||
| 申请公布号 | CN103390697B | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201310168107.2 | 申请日期 | 2013.05.09 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 陈自强;A·J·洪;金志焕;D·K·萨达那 |
| 分类号 | H01L31/20(2006.01)I;H01L31/077(2012.01)I;H01L31/0368(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 于静;张亚非 |
| 主权项 | 一种形成光伏器件的方法，包括：提供衬底；以及在所述衬底上沉积光伏叠层的一个或多个层，所述一个或多个层的沉积包括以下步骤：执行高功率快闪沉积以沉积所述层的第一部分，所述高功率快闪沉积包括小于5s的大于100mW/cm<sup>2</sup>的功率；以及执行低功率沉积以沉积所述层的第二部分。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||