| 发明名称 | 芯片对数据库的接触窗检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种芯片对数据库的接触窗检测方法，包括取得晶片中数个接触窗的实际影像，并对所述实际影像的位置进行译码，以得到图形文件。将图形文件与芯片的设计数据库(design database)对准。然后，对所述实际影像进行影像萃取，以得到接触窗的影像轮廓，随后测量接触窗的所述影像轮廓与上述设计数据库中的对应接触窗在关键尺寸上的差异，以得到晶片的接触窗检测结果。 | ||
| 申请公布号 | CN105588844A | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201410576461.3 | 申请日期 | 2014.10.24 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 骆统;李筱玲;杨令武;杨大弘;陈光钊 |
| 分类号 | G01N21/95(2006.01)I;G01Q30/02(2010.01)I;G01R31/305(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
| 主权项 | 一种芯片对数据库的接触窗检测方法，包括：取得一晶片中多个接触窗的实际影像；对所述接触窗的所述实际影像的位置进行译码，以得到译码后的一图形文件；将所述图形文件与所述芯片的设计数据库(design database)对准；对所述实际影像进行影像萃取，以得到所述接触窗的多个影像轮廓；以及测量所述接触窗的所述影像轮廓与所述设计数据库中的多个对应接触窗在关键尺寸(CD)上的差异。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 | ||