| 发明名称 | 检查基板时的测定区域补偿方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。 | ||
| 申请公布号 | CN105593636A | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
| 申请号 | CN201480054313.3 | 申请日期 | 2014.10.22 |
| 申请人 | 株式会社高永科技 | 发明人 | 郑升源;崔钟镇;金资根 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I;G01N21/956(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人 | 郑青松 |
| 主权项 | 一种检查基板时的测定区域补偿方法，其中，包括：判断基板上的第一测定区域(FOV)的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。 | ||
| 地址 | 韩国首尔市 | ||