发明名称 用于直拉单晶炉热场的加热器及使用方法
摘要 本发明公开了一种用于直拉单晶炉热场的加热器,包括加热器主体(5);所述加热器主体(5)可翻转;所述加热器主体(5)的叶片端面上设置有加热器脚(6);所述加热器主体(5)的叶片两端均设置有螺纹孔(7);所述加热器脚(6)上相对于螺纹孔(7)设置有通孔(10);所述加热器脚(6)通过螺钉经通孔(10)和螺纹孔(7)进行固定。
申请公布号 CN105586634A 申请公布日期 2016.05.18
申请号 CN201610074730.5 申请日期 2016.02.03
申请人 杭州海纳半导体有限公司 发明人 潘金平;王伟棱;王飞尧;郑欢欣
分类号 C30B15/14(2006.01)I 主分类号 C30B15/14(2006.01)I
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人 金祺
主权项 一种用于直拉单晶炉热场的加热器,包括加热器主体(5);其特征是:所述加热器主体(5)可翻转。
地址 310052 浙江省杭州市滨江区信诚路99号