发明名称 | 用于直拉单晶炉热场的加热器及使用方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于直拉单晶炉热场的加热器,包括加热器主体(5);所述加热器主体(5)可翻转;所述加热器主体(5)的叶片端面上设置有加热器脚(6);所述加热器主体(5)的叶片两端均设置有螺纹孔(7);所述加热器脚(6)上相对于螺纹孔(7)设置有通孔(10);所述加热器脚(6)通过螺钉经通孔(10)和螺纹孔(7)进行固定。 | ||
申请公布号 | CN105586634A | 申请公布日期 | 2016.05.18 |
申请号 | CN201610074730.5 | 申请日期 | 2016.02.03 |
申请人 | 杭州海纳半导体有限公司 | 发明人 | 潘金平;王伟棱;王飞尧;郑欢欣 |
分类号 | C30B15/14(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人 | 金祺 |
主权项 | 一种用于直拉单晶炉热场的加热器,包括加热器主体(5);其特征是:所述加热器主体(5)可翻转。 | ||
地址 | 310052 浙江省杭州市滨江区信诚路99号 |