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자기 저항 효과 소자의 가일층의 미세화, 집적도 가일층의 증대를 실현함과 함께, 높은 자기 특성을 갖는 자기 저항 효과 소자를 제조할 수 있는 자기 저항 효과 소자의 제조 방법 및 제조 시스템을 제공한다. 자기 저항 효과 소자의 제조 방법은, 기판(100) 상에, 2개의 자성층 중 한쪽의 층(103)과, 터널 장벽층을 구성하는 층(104)과, 2개의 자성층 중 다른 쪽의 층(105)을 구비한 적층체를 준비하는 공정(S121)과, 상기 적층체를 에칭에 의해 복수로 분리하고, 상기 기판 상에 분리된 복수의 적층체를 형성하는 공정(S122)과, 상기 분리된 복수의 적층체의 측부에 감압 가능한 처리 챔버(501) 내에서 이온 빔을 조사하는 공정(S123)과, 상기 이온 빔의 조사 후, 상기 처리 챔버 내에 산화성 가스 또는 질화성 가스를 도입하고, 상기 복수의 적층체의 표면에 산화층 또는 질화층을 형성하는 공정(S124)을 포함한다. |
