| 摘要 |
본 발명은 고체레이저용 단결정 로드 및 이의 제조방법으로서, 결정축을 가지는 잉곳(ingot)의 탑(top)부 및 테일(tail)부를 절단하는 원기둥 형성 단계, 원기둥 형태로 절단된 잉곳의 밑면을 유리빔에 본딩(bonding)하여 다수 열의 절단 와이어로 형성된 멀티 와이어소(multi wire saw)를 이용하여 다수의 사각기둥 형태로 절단하는 사각기둥 형성(squaring) 단계 및 사각기둥 형태로 절단된 잉곳을 유리빔과 분리하고, 다이아몬드 컵휠(cup wheel)을 이용하여 실린더 형태로 연삭(grinding)하는 연삭 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 로드 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 단결정 로드는 잉곳을 다수의 사각기둥 형태로 절단하고 실린더 형태로 연삭하여 높은 생산성을 가지는 고품질의 고체레이저용 단결정 로드를 제조할 수 있는 장점이 있다. |
