发明名称 SEMICONDUCTOR STRIPS WITH UNDERCUTS AND METHODS FOR FORMING THE SAME
摘要 집적 회로 디바이스는 반도체 기판, 및 반도체 기판 내로 연장하는 반도체 스트립을 포함한다. 제1 및 제2 유전체 영역은 반도체 스트립과 접촉하면서 반도체 스트립의 양측면 상에 있다. 제1 유전체 영역과 제2 유전체 영역 각각은 반도체 스트립과 동일한 높이에 있는 제1 부분과, 반도체 스트립보다 낮게 있는 제2 부분을 포함한다. 제2 부분은 반도체 스트립과 오버랩되는 부분을 더 포함한다.
申请公布号 KR101622007(B1) 申请公布日期 2016.05.17
申请号 KR20130141215 申请日期 2013.11.20
申请人 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 发明人 황 타이췬;펑 치탕;장 치아웨이;여우 밍화;리엔 하오밍;천 차오청;리 쯔량
分类号 H01L21/336;H01L21/76 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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