| 发明名称 |
用检测装置来测量及评估探针卡的方法 |
| 摘要 |
评估探针卡的功能性之方法，包含：提供不具有探针卡介面的探针卡分析器；将具有探针的探针卡可移除地耦接至探针卡分析器的支撑板；将探针卡分析器的感测器头与探针卡对齐；及用感测器头测量探针的组件。
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| 申请公布号 |
TW201617625 |
申请公布日期 |
2016.05.16 |
| 申请号 |
TW104118319 |
申请日期 |
2015.06.05 |
| 申请人 |
鲁道夫科技股份有限公司 |
发明人 |
欧斯塔德 葛瑞格 |
| 分类号 |
G01R1/073(2006.01);G01R31/28(2006.01);G01R31/30(2006.01) |
主分类号 |
G01R1/073(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种评估探针卡的功能性之方法，包含：提供不具有探针卡介面的探针卡分析器；将具有探针的探针卡可移除地耦接至该探针卡分析器的支撑板；将该探针卡分析器的感测器头对齐该探针卡；及用该感测器头测量组件的特点。
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| 地址 |
美国 |
