| 摘要 |
본 발명은 X선 카메라(50)와 X선 조사 유닛(160) 사이에서 검사 대상부에 임하는 광학 촬상 장치(300)를 구비한 복합 검사 장치에 있어서, 접사 포지션과 비접사 포지션 사이에서 X선 조사 유닛(160)과 X선 카메라(50)를 상대 변위시켜 X선 화상의 배율을 변경하는 배율 변경 수단(155)을 설치한다. 이 배율 변경 수단(155)은 접사 포지션에서는 X선 조사 유닛(160)으로부터 X선 카메라(50)에 도달하는 X선의 도달 경로가 접사용으로 짧아진다. 비접사 포지션에서는 상기 도달 경로가 접사 포지션에서의 거리보다 길어진다. X선 조사 유닛과 X선 카메라 중 적어도 어느 한쪽이 접사 포지션을 향해서 이동할 필요가 있을 경우에는 X선 조사 유닛과 X선 카메라가 상대적으로 접사 포지션을 향해서 이동할 수 있도록 사전에 광학 촬상 장치(300)를 퇴피시킨다. |
