| 摘要 |
다이 이젝터는 슬롯(2)을 구비하는 베이스 플레이트(1)와, 베이스 플레이트(1) 상에 위치되는 테이블 플레이트(3)를 포함한다. 테이블 플레이트(3)는, 베이스 플레이트(1)의 슬롯(2)에 평행하게 연장되고 포일로부터 탈착될 반도체 칩의 폭에 맞게 구성되는 슬롯(4)을 구비한다. 진공이 인가될 수 있는 채널(8)이 베이스 플레이트(1)의 슬롯(2) 또는 테이블 플레이트(3)의 슬롯(4) 내로 연통된다. 2개의 편향 롤러(9, 10)가 베이스 플레이트(1)의 슬롯(2)의 대향 단부들에서 베이스 플레이트(1) 아래에 위치된다. 베이스 플레이트(1)의 슬롯(2)보다 넓고 2개의 편향 롤러(9, 10) 주위로 안내되는 구동 벨트(11)가 베이스 플레이트(1)의 슬롯(2)을 밀봉한다. 슬라이드(13)가 베이스 플레이트(1)의 슬롯(2) 내에 위치되어, 구동 벨트(11) 상에 고정된다. 모터(12)가 구동 벨트(11)를 전후로 이동시킨다. 폭이 테이블 플레이트(3)의 슬롯(4)의 폭과 동일한 슬라이드 플레이트(14)가 슬라이드(13) 상에 분리가능하게 고정될 수 있다. |
