基于预测模型化之聚焦误差预测

摘要

明揭示基于预测模型化之聚焦误差预测方法及系统。该方法包含：获得复数个训练晶圆之晶圆几何形状量测值；及基于该复数个训练晶圆之中的晶圆几何形状量测值之相对同质性，而将该复数个训练晶圆分群组以提供至少一训练群组。对于该至少一训练群组之各特定训练群组，利用非线性预测模型化来开发一预测模型。该预测模型建立针对该特定训练群组内之各晶圆获得之晶圆几何形状参数与聚焦误差量测值之间的相关，且可利用该预测模型来提供属于该特定训练群组之一传入晶圆之聚焦误差预测。

主权项

一种基于预测模型化之聚焦误差预测方法，其包括：获得复数个训练晶圆之晶圆几何形状量测值；基于该复数个训练晶圆之中的晶圆几何形状量测值之相对同质性，而将该复数个训练晶圆分群组以提供至少一训练群组；对于该至少一训练群组之各特定训练群组，利用非线性预测模型化来开发该特定训练群组之一预测模型，该预测模型建立针对该特定训练群组内之各晶圆获得之晶圆几何形状参数与聚焦误差量测值之间的相关；及利用针对该至少一训练群组之一特定训练群组开发之该预测模型来提供属于该特定训练群组之一传入晶圆之聚焦误差预测。