| 发明名称 |
多卡匣运送箱 |
| 摘要 |
提供多卡匣运送箱之实施例。在一些实施例中，多卡匣运送箱包含：本体，具有内容积；门，耦接至本体，以选择性地密封内容积；及复数个卡匣保持器，设置于内容积中，以保持一或多个基板卡匣。在一些实施例中，一种传送基板的方法包含以下步骤：放置基板在基板卡匣中，其中基板卡匣之内容积被密封与基板卡匣之外侧的环境隔离；及放置基板卡匣于多卡匣运送箱中。
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| 申请公布号 |
TW201617276 |
申请公布日期 |
2016.05.16 |
| 申请号 |
TW104137033 |
申请日期 |
2015.11.10 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
希鲁纳弗卡罗苏司瑞斯坎萨罗杰;白永胜;奈马尼史林尼法斯Ｄ;桑达罗杰艾文德;艾佛拉阿维纳许;叶怡利;莱斯麦可;艾迪格吉尼托 |
| 分类号 |
B65D85/90(2006.01) |
主分类号 |
B65D85/90(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
李世章;彭国洋 |
| 主权项 |
一种多卡匣运送箱，包括：一本体，具有一内容积；一门，耦接至该本体，以选择性地密封该内容积；及复数个卡匣保持器，设置于该内容积中，以保持一或多个基板卡匣。
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| 地址 |
美国 |
