COATING APPARATUS AND COATING METHOD,申请号KR20110140757-传众专利搜索

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发明名称	COATING APPARATUS AND COATING METHOD
摘要	<과제> 노즐의 메인터넌스성을 향상시키는 것. <해결수단> 기판을 유지하는 기판유지부와, 상기 기판과의 사이에서 상대적으로 이동 가능하게 마련되고, 상기 기판에 대해서 선단부로부터 액상체를 토출하는 노즐을 가지는 도포부와, 상기 노즐의 상기 선단부의 화상을 취득하는 화상취득부를 구비한다.
申请公布号	KR101621572(B1)	申请公布日期	2016.05.16
申请号	KR20110140757	申请日期	2011.12.23
申请人	도쿄 오카 고교 가부시키가이샤	发明人	마스 요시아키;도미토리 마코토;가지마 아츠오
分类号	B05B11/00;B05B15/02;B05C5/02;B05C21/00	主分类号	B05B11/00
代理机构		代理人
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