具有丝极固持总成的化学汽相沉积反应器

摘要

在西门子反应器之反应腔室中的化学汽相沉积形成多晶矽结晶棒。丝极固持总成将垂直延伸的丝极紧固至沿着该反应器之底板定位的电极。丝极固持总成包括安装于电极上且具有向上渐缩侧表面的夹头支撑构件。夹头系安置于该夹头支撑构件上，其中该夹头支撑构件之至少一部分接纳于界定在该夹头之基底中的空腔内，其中该夹头支撑构件之该侧表面接合界定该空腔之表面。该空腔可经大小设定且成形以使得在该夹头支撑构件之远端与该空腔之端壁表面之间界定一间隙。该夹头具有向上开口插孔，该插孔接纳且固持向上延伸的丝极之端部。

主权项

一种用于在一反应器中将一垂直延伸的丝极紧固至一电极以藉由化学汽相沉积生产一多晶矽结晶棒的丝极固持总成，该总成包含：一导电的夹头支撑构件，其具有一近端、一远端、位于该近端处且经构造以在一化学汽相沉积反应器中接合一电极的一表面，以及在该近端与该远端之间延伸的一面朝外的中间表面，其中该中间表面之至少一部分远离该近端且朝向该远端渐缩；以及一导电的夹头，其具有一近端、一远端、位于该远端处且界定经构造以接纳一丝极之一端部的一插孔的一远端表面、位于该近端处且界定一空腔之一近端表面，以及面朝内、朝该近端外扩且大体符合该夹头支撑构件之该中间表面的锥形部分之至少一部分的一侧壁表面，该远端表面包括经定位以将一丝极支撑于该插孔中之一丝极接合表面部分，其中该夹头支撑构件之该远端接纳于该空腔内，其中该中间表面之该锥形部分接合该侧壁表面，且其中该空腔具有足够深度以使得在该夹头支撑构件之该远端与该夹头之间界定一空间。