光学装置、处理装置及物品制造方法

摘要

的是光学装置。所述光学装置包括：包含第一反射面及第二反射面的可旋转反射件；光学系统，其被建构为通过所述光学系统中包括的多个反射面来依次反射被所述第一反射面反射的光，并且使所述光入射在所述第二反射面上；以及调整设备，其被建构为改变所述反射件的旋转角度，以调整被所述第二反射面反射而从所述第二反射面射出的光的光路。

主权项

一种光学装置，所述光学装置包括：包含第一反射面及第二反射面的可旋转的反射件；光学系统，其被建构为通过所述光学系统中包括的多个反射面来依次反射被所述第一反射面反射的光，并且使所述光入射在所述第二反射面上；以及调整设备，其被建构为改变所述反射件的旋转角度，以调整被所述第二反射面反射而从所述第二反射面射出的光的光路。