瑕疵检测方法及其装置

摘要

露提供一种瑕疵检测方法，包含依据待测工件的结构，对待测工件表面的至少一个待测区域，决定至少一个入射路径与至少一个反射路径，此待测区域、入射路径与反射路径均一一对应。对此些待测区域中每一个待测区域，以光源依据对应的入射路径照射此待测区域。对此些待测区域中每一个待测区域，依据对应的反射路径，使光源照射于此待测区域的反射光呈像至屏幕以得到反射影像，此反射影像与此待测区域一一对应。以及分析此反射影像以判断待测工件之表面是否有瑕疵。

主权项

一种瑕疵检测方法，包含：依据一待测工件的结构，对该待测工件表面的至少一待测区域，决定至少一入射路径与至少一反射路径，该至少一待测区域、该至少一入射路径与该至少一反射路径均一一对应；对该至少一待测区域中每一该待测区域，以一光源依据对应的该入射路径照射该待测区域；对该至少一待测区域中每一该待测区域，依据对应的该反射路径，使该光源照射于该待测区域的反射光呈像至一屏幕以得到至少一反射影像，该至少一反射影像与该至少一待测区域一一对应；以及分析该至少一反射影像以判断该待测工件是否有瑕疵。