| 发明名称 |
具有石墨烯结构之电容器、包括电容器之半导体装置及其形成方法 |
| 摘要 |
电容器包括一第一石墨烯结构，具有复数个第一石墨烯层。该电容器更包括一介电层，在该第一石墨烯结构上方。该电容器更包括一第二石墨烯结构，在该介电层上方，其中该第二石墨烯结构具有复数个第二石墨烯层。
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| 申请公布号 |
TW201618312 |
申请公布日期 |
2016.05.16 |
| 申请号 |
TW104122868 |
申请日期 |
2015.07.15 |
| 申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
周淳朴;柯志欣;邱博文;郑兆钦;吕俊颉;黄崎峰;陈焕能;薛福隆 |
| 分类号 |
H01L29/92(2006.01);H01L23/485(2006.01);H01L21/50(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/92(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
冯博生 |
| 主权项 |
一种电容器，包括：一第一石墨烯结构，具有复数个第一石墨烯层；一介电层，在该第一石墨烯结构上方；以及一第二石墨烯结构，在该介电层上方，其中该第二石墨烯结构具有复数个第二石墨烯层。
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
