基板传送设备

摘要

提供基板传送腔室的实施例。在一些实施例中，基板传送腔室包含：本体，具有内侧容积，其中本体的底部部分包含第一开口；转接板，耦接至本体之底部部分，以将基板传送腔室耦接至基板处理系统的负载锁定腔室；其中转接板包含与第一开口对准的第二开口，以将内侧容积与负载锁定腔室的内容积流体地耦接；卡匣支撑件，设置在内侧容积中，以支撑基板卡匣；及举升致动器，耦接至卡匣支撑件，以降低基板卡匣进入负载锁定腔室中或升高基板卡匣离开负载锁定腔室。

主权项

一种基板传送腔室，包括：一本体，具有一内侧容积，其中该本体的一底部部分包含一第一开口；一转接板，耦接至该本体之该底部部分，以将该基板传送腔室耦接至一基板处理系统的一负载锁定腔室；其中该转接板包含与该第一开口对准的一第二开口，以将该内侧容积与该负载锁定腔室的一内容积流体地耦接；一卡匣支撑件，设置在该内侧容积中，以支撑一基板卡匣；及一举升致动器，耦接至该卡匣支撑件，以降低该基板卡匣进入该负载锁定腔室中或升高该基板卡匣离开该负载锁定腔室。