| 主权项 |
一种基板处理装置，其具备有：处理单元，其包含对基板供给处理液之处理液喷嘴；供给用液槽，其对上述处理液喷嘴供给处理液；第1及第2补充用液槽，其用以对上述供给用液槽补充处理液；处理液回收部，其将上述处理单元所使用之用过的处理液进行回收，并以选择性地对上述第1及第2补充用液槽供给上述用过的处理液之方式被连接于该第1及第2补充用液槽；处理液补充部，其系以自上述第1及第2补充用液槽选择性地对上述供给用液槽补充处理液之方式被连接于该供给用液槽；处理液循环部，其系以选择性地使上述第1补充用液槽内之处理液与上述第2补充用液槽内之处理液循环之方式连接；加热部，其加热通过上述处理液循环部之处理液；及控制部，其系于藉由上述处理液回收部所回收之上述用过的处理液被供给至上述第1补充用液槽之期间，以使上述第2补充用液槽内之处理液被补充至上述供给用液槽之方式控制上述处理液补充部，并且以使上述第1补充用液槽内之处理液一边由上述加热部加热一边循环之方式控制上述处理液循环部，而于藉由上述处理液回收部所回收之上述用过的处理液被供给至上述第2补充用液槽之期间，以使上述第1补充用液槽内之处理液被补充至上述供给用液槽之方式控制上述处理液补充部，并且以使上述第2补充用液槽内之处理液一边由上述加热部加热一边循环之方式控制上述处理液循环部。
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