悬臂式高频探针卡

摘要

悬臂式高频探针卡，用以设置于一待测电子物件上方，且包含有一载板、一针座、二探针以及一电容。其中，该针座设于该载板上，且以绝缘材料制成。该二探针以导电材料制成；各该探针具有相连接一悬臂段与一针尖段，该悬臂段与该针座连接，而该针尖段则用以点触该待测电子物件之待测部位。该电容两端分别电性连接该二探针。此外，该悬臂式高频探针卡更可包含有二电感性元件，且该等电感性元件一端分别电性连接该等探针之悬臂段，而另一端则电性连接至一检测机。

主权项

一种悬臂式高频探针卡，用以设置于一待测电子物件上方，且包含有：一载板；一针座，设于该载板上，且以绝缘材料制成；二探针，以导电材料制成；各该探针具有相连接一悬臂段与一针尖段，该悬臂段与该针座连接，而该针尖段则用以点触该待测电子物件之待测部位；以及一电容，其两端分别电性连接该二探针；藉此，当该待测电子物件产生高频之检测讯号而传导至其中一该探针时，高频之检测讯号经过该电容而传导至另一该探针，进而回流至该待测电子物件。