扫描干涉仪之校正

摘要

扫描干涉术成像系统，包含：布设该扫描干涉术成像系统，使用具有一窄频波长光谱之光线结合一干涉物镜操作；使用该扫描干涉术成像系统，沿不同路径导引量测光线与参考光线，且将该量测及参考光线重叠于一侦测仪器上，该量测及参考光线具有该窄频波长光谱；在使用该侦测仪器撷取强度资料之同时，扫描该侦测器处之该量测光线与该参考光线之间的一光径长度差，该侦测器在一帧率下撷取该强度资料且该扫描系在一扫描速度下实施；决定关于以该撷取强度资料为基础之该扫描速度的资讯、关于该扫描干涉术成像系统之几何资讯、及该窄频波长光谱；及以该关于扫描速度之资讯为基础来校正该扫描干涉术成像系统。

主权项

一种校正扫描干涉术成像系统之方法，包括：布设该扫描干涉术成像系统，使用具有一窄频波长光谱之光线结合一干涉物镜操作；使用该扫描干涉术成像系统，沿不同路径导引量测光线与参考光线，且将该量测及参考光线重叠于一侦测仪器上，该量测及参考光线具有该窄频波长光谱；在使用该侦测仪器撷取强度资料之同时，扫描该侦测器处之该量测光线与该参考光线之间的一光径长度差，该侦测器在一帧率下撷取该强度资料且该扫描系在一扫描速度下实施；决定关于以该撷取强度资料为基础之该扫描速度的资讯、关于该扫描干涉术成像系统之几何资讯、及该窄频波长光谱；及以该关于扫描速度之资讯为基础来校正该扫描干涉术成像系统。