具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法

摘要

请提出一种具多重气密空腔的微机电装置与其制作方法，可将多种感测元件整合在单一装置中。例如，本申请的微机电装置可提供具有不同的气压的两个气密空腔，以分别使微机电气压计及微机电加速度计能在最佳的气压环境下进行操作。

主权项

一种微机电装置，适用于同时量测压力及惯性物理量，该微机电装置包括：基板，具有第一表面；第一盖体，设置于该基板上，且该第一盖体与该基板定义第一气密空腔；第一感测单元，包含悬浮于该基板上方的可动质量块；第二盖体，设置于该基板上，且该第二盖体与该基板定义第二气密空腔；其中，该第一气密空腔包覆该第一感测单元，该第一感测单元设置于该第二气密空腔之外。