| 发明名称 |
磺酸酯化合物、光酸产生剂及和光蚀刻用树脂组合物 |
| 摘要 |
明提供一种非离子系光酸产生剂及包含其的光蚀刻用树脂组合物，所述非离子系光酸产生剂含有对i射线具有高感光度、耐热稳定性优异、于疏水性材料中的溶解性优异的磺酸酯化合物。本发明是一种磺酸酯化合物，其特征在于由通式（1）表示。 [式（1）中，R1表示碳数6～18的芳基或碳数4～20的杂环式烃基；R2表示氢原子、碳数1～18的烷基、碳数2～18的烯基、碳数2～18的炔基、或碳数6～18的芳基；R3表示碳数1～18的烃基（氢的一部分或全部可经氟取代）] |
| 申请公布号 |
TW201617312 |
申请公布日期 |
2016.05.16 |
| 申请号 |
TW104134767 |
申请日期 |
2015.10.23 |
| 申请人 |
三亚普罗股份有限公司 |
发明人 |
冈昌明;中村友治 |
| 分类号 |
C07C311/00(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
C07C311/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
| 主权项 |
一种磺酸酯化合物，其特征在于由通式（1）表示，[式（1）中，R1表示碳数6～18的芳基或碳数4～20的杂环式烃基；R2表示氢原子、碳数1～18的烷基、碳数2～18的烯基、碳数2～18的炔基、或碳数6～18的芳基；R3表示碳数1～18的烃基（氢的一部分或全部可由氟取代）]。 |
| 地址 |
日本 |
